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管式二合一PECVD设备
AlO+SiN薄膜沉积。
管式PE-Poly设备
TOPCon电池隧穿氧化层、i-Poly、D-poly沉积。
管式LPCVD设备
TOPCon电池隧穿氧化层、i-poly、D-poly低压化学气相沉积。
全自动石英舟装卸片机
集装片和卸片一体，可从石英舟中把扩散后的硅片卸到片篮中，也可从片篮中将制绒后的硅片装入石英舟中。可在⼀个石英舟插槽中插⼊两片，实现单面扩散片工艺，也可在⼀个石英舟插槽中插入一片，实现双面扩散片工艺。采用装片与卸片可连续衔接⽅式，实现连续生产；也可单独装片或单独卸片。
全自动石墨舟装卸片机
本设备为在线式，可与一台或两台侧出舟设备对接，实现石墨舟的自动传输和硅片自动装卸，满足在太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后，将片篮中的硅片自动装载到石墨舟，并将石墨舟输送到PECVD设备中，或将PECVD设备中的石墨舟输送到本设备，并将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中。
HJT清洗制绒设备
对高效太阳能电池异质结电池片进行制绒、清洗。
HJT板式等离子体增强化学气相沉积设备
制备本征及掺杂非晶硅薄膜。
板式透明导电薄膜沉积设备(RPD/PAR/PVD)
板式物理镀膜设备用于镀着透明导电薄膜于衬底(硅片、玻璃片、柔性基板)。
全自动卷纸印刷机
把铝浆、银浆通过压力印刷至电池片表面，经过烘干烧结后成为太阳能电池正负极。
HJT全自动半片卷纸印刷机
把银浆通过压力印刷至电池片表面，经过烘干固化后成为太阳能电池正负极。
光注入退火炉
调节电池片费米能级变化，控制H总量及价态，提高H钝化与缺陷修复效率，达到降低P型电池衰减效应，提高N型电池转换效率的效果。
网链式烘干烧结炉
把印刷好的前后电极烧融到PN结层，形成欧姆接触，让电池片细栅线收集到的电能通过主栅线汇流出来。
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