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晶硅电池AGV智能生产线
取代人工搬运片篮、信息智能交互、资源智能管控,实现整线自动化生产,工厂智能化管理。
全自动石英舟装卸片机
集装片和卸片一体,可从石英舟中把扩散后的硅片卸到片篮中,也可从片篮中将制绒后的硅片装入石英舟中。可在⼀个石英舟插槽中插⼊两片,实现单面扩散片工艺,也可在⼀个石英舟插槽中插入一片,实现双面扩散片工艺。采用装片与卸片可连续衔接⽅式,实现连续生产;也可单独装片或单独卸片。
全自动石墨舟装卸片机
本设备为在线式,可与一台或两台侧出舟设备对接,实现石墨舟的自动传输和硅片自动装卸,满足在太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后,将片篮中的硅片自动装载到石墨舟,并将石墨舟输送到PECVD设备中,或将PECVD设备中的石墨舟输送到本设备,并将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中。