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创新于微,创领未来——创微微电子亮相SEMICON China

栏目:重大新闻 发布时间:2023-07-07
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2023年6月29日-7月1日,中国国际半导体设备、材料、制造和服务展览会(SEMICON China)在上海举行,本次展会覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等全产业链,是全球规模最大、最具影响力的半导体专业展。国内外半导体产业的顶尖企业和专业人士汇聚申城,交流技术心得,共话行业发展。

公司子公司创微微电子(常州)有限公司(以下简称“创微微电子”)自2020年9月成立以来,专注于高端半导体湿法清洗设备制造,凭借国际化团队和国产化制造,逐步得到业界及用户的支持与认可。本次展会,创微微电子携自主研发的先进技术成果亮相SEMICON China,吸引了大批行业伙伴莅临创微微电子展台参观交流、洽谈合作,并获取多家意向订单。

 


坚持国产化,成绩斐然

公司锚定国产化战略并坚持至今,目前在批次式湿法工业设备国产化推进已是国内领先,整体国产化率高达90%。其自主研发的纯水加热器、Dryer、PTFE及PFA零部件、石英零部件、热交换器、管路接头等部件皆已实现自主研发、国内加工及合作开发,成功打破日韩垄断地位。同时,公司也带领上下游零部件伙伴共同发展,帮助他们取得相关认证,成功替代美日设备,并已得到半导体行业头部客户认可。

软件方面,目前公司软件工程师占比30%,自编自设软件系统,所有编程代码均为自主持有,已完全摆脱国外厂商限制,可及时高效地为客户量身定制工艺程序进行生产制造。

 


进军12吋清洗设备,未来可期

公司持续加大研发投入,向高端清洗设备发展,正在研发28nm以下制程所需大型12吋清洗设备,主要包括Banch机台(槽式机)与Single(单片机),将成为公司设备研发及国产化进程的又一里程碑。